URE-2000/25

1．技术参数

l  曝光面积：100mm×100mm（或150 mm×150mm）

l  分辨力：1.5mm（胶厚2 mm的正胶）

l  对准精度：±0.8mm

l  掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm

l  掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l  样片尺寸

直径f15mm-- f100mm(可适应非标准片或碎片)

    厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

l  照明均匀性： ±4%（ f100mm 范围）

l  掩模相对于样片运动行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l  汞灯功率：350W（直流）

l  曝光波长：365nm

l  曝光能量密度：15mW/cm

l  曝光方式：定时（倒计时方式0.1s—999s）

2．外形尺寸：1200mm（长）′900mm(宽) ′1600mm（高）

3．配置

（1）曝光头

l  冷光椭球镜

l  350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

l  XYZ汞灯调节台

l  光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2

l  冷却风扇

（2）对准工件台

¨掩模样片整体运动台

¨掩模样片相对运动台

¨转动台

¨样片调平机构, 手动

¨样片调焦机构，手动

¨承片台3个（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）

     掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

¨掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

¨光源（配备品2只）、   电源

¨双目双视场对准显微镜主体

¨目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

¨物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

（4）电控系统

¨汞灯触发电源(350W直流汞灯)

¨单片机控制系统

¨控制柜桌

（5）气动系统

¨气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

¨电磁阀驱动

¨气动仪表

（6）其他附件

¨真空泵一台

¨空压机一台

¨管道