URE-2000/25
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1.技术参数
l 曝光面积:100mm×100mm(或150 mm×150mm)
l 分辨力:1.5mm(胶厚2 mm的正胶)
l 对准精度:±0.8mm
l 掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
l 掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 样片尺寸
直径f15mm-- f100mm(可适应非标准片或碎片)
厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)
l 照明均匀性: ±4%( f100mm 范围)
l 掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 汞灯功率:350W(直流)
l 曝光波长:365nm
l 曝光能量密度:15mW/cm
l 曝光方式:定时(倒计时方式0.1s—999s)
2.外形尺寸:1200mm(长)′900mm(宽) ′1600mm(高)
3.配置
(1)曝光头
l 冷光椭球镜
l 350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
l XYZ汞灯调节台
l 光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组(79个透镜)、i线滤光片、场镜1、场镜2、冷光反射镜1、反射镜2
l 冷却风扇
(2)对准工件台
¨掩模样片整体运动台
¨掩模样片相对运动台
¨转动台
¨样片调平机构, 手动
¨样片调焦机构,手动
¨承片台3个(Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm)
掩模夹4个(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)
¨掩模抽拉式上下机构
(3)对准显微镜
¨光源(配备品2只)、 电源
¨双目双视场对准显微镜主体
¨目镜3对(10倍、16倍、20倍,共6个)
¨物镜3对(4倍、10倍、20倍,共6个)
(4)电控系统
¨汞灯触发电源(350W直流汞灯)
¨单片机控制系统
¨控制柜桌
(5)气动系统
¨气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
¨电磁阀驱动
¨气动仪表
(6)其他附件
¨真空泵一台
¨空压机一台
¨管道