URE-2000/15

1．技术参数

l  曝光面积：f100mm

l  分辨力：1.7mm（胶厚2 mm的正胶）

l  对准精度：±1mm

l  掩模样片整体运动范围：X：6mm;Y:6mm

l  掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸

l  样片尺寸：直径f15mm-- f100mm

              厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)

l  照明均匀性： ±5%（f100mm 范围）

l  掩模相对于样片运动行程：

   X: ±5mm;   Y: ±5mm;  q:  ±6度

l  汞灯功率：200W（直流）

l  曝光波长：365nm

l  曝光能量密度：6mW/cm

l  曝光方式：定时（倒计时方式）

2．外形尺寸：650mm（长）′600mm(宽) ′900mm（高）

3．配置

（1）曝光头

l  200W进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

l  XYZ汞灯调节台

l  光学系统

l  冷却风扇

（2）对准工件台

¨掩模样片整体运动台

¨掩模样片相对运动台

¨转动台

¨样片调平机构,手动

¨样片调焦机构，手动

¨承片台3个（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm  ）

     掩模夹4个（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）

¨掩模抽拉式上下机构

（3）对准显微镜

¨光源（配备品2只）、电源

¨双目双视场对准显微镜主体

¨目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）

¨物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）

¨CCD（台湾）

¨19寸液晶显示器

（4）电控系统

¨汞灯触发电源(200W直流汞灯)

¨单片机控制系统

¨控制机箱

（5）气动系统

¨气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

¨电磁阀驱动

¨气动仪表

（6）其他附件

¨真空泵一台

¨管道

（7）技术资料

¨使用维修说明书

¨显微镜使用说明书