用途：设备采用团簇结构(cluster)对数个独立功能的真空室集成，通过中央转换室及精密机械手将样品在不同真空室自动传递，中央转换室与各功能室之间釆用真空锁隔断，保证在不破坏真空的情况下，完成多种工艺过程，达到完成复杂工艺器件制造的目的。cluster系列设备可以集成PVD、CVD、刻蚀、退火、在线测试等多种功能腔体，是高端的工艺器件研发设备。适用于科研院所、大专院校、生产企业的科学研究、教学、小批量生产。

控制单元包扌舌：真空系统、工作压强、电源系统、工艺气体流量、加热系统、冷却系统、运动系统、工艺系统、工艺过程、系统监控及数据釆集等。全自动操作、半自动操作模式可在线切换。

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