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原位拉伸台
本产品通过化学物理相结合的方式，主要用于干法去胶、射频清洗等。 本产品为卧式结构，上掀盖形式，釆用不锈钢制成，并经表秒喷砂抛光 处理。
真空系统：机械泵系统
样片数量及尺寸：1片$ 8英寸
刻蚀材料：光刻胶、聚酰亚胺等材料
去胶速度：100-500nm/min
电源配置：射频电源
质量流量控制器：4-6台操作模式：全自动+半自动
